無塵凈化工程潔凈室是懸浮粒子濃度受控潔凈的房間、廠房,是進入、產(chǎn)生、滯留于室內(nèi)的粒子特別少,而且室內(nèi)其他參數(shù),如溫度、濕度、壓差等按產(chǎn)品生產(chǎn)的需要受控的房間。潔凈無塵凈化工程技術(shù)及污染控制技術(shù),它的概念內(nèi)容主要包含:對加工或處理對象在加工處理過程中,由于污染物質(zhì)的存在,影響對象的成功率。而對到達對象表面的污染物質(zhì)進行無塵凈化工程控制后,能提高對象的成功率,此有成效控制污染物質(zhì)(亦包括加工或處理對象帶有對人體有害的污染物質(zhì),需進行處理及隔離)的技術(shù),稱為潔凈無塵凈化工程技術(shù)或污染控制。
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潔凈無塵凈化工程技術(shù)與污染物質(zhì)的控制方法,會因加工處理的對象而異。如精細機械加工,要求控制工件表面的粒子尺寸及濃度,一般東鑫凈化工程會以控制空氣中的粒子尺寸,及其濃度來作為解決方案;醫(yī)藥、衛(wèi)生、實驗室等類似場景的無塵凈化工程潔凈室解決方案,以控制空氣中的粒子尺寸,及其濃度和微生物數(shù)來解決;而IC電子電路的生產(chǎn),隨著集成度的提高,線寬的減少,需要要求嚴格控制硅表面的粒子尺寸及其濃度、金屬物質(zhì)、吸附的某些分子以及硅片本身的氧化。因此除了控制潔凈室空氣中的粒子尺寸,及其濃度外,還須控制工藝介質(zhì)如高純水、高純氣體、特種氣體及化學品(液)內(nèi)的粒子尺寸及其濃度、金屬物質(zhì)及某些氣體不純物質(zhì)。
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無塵凈化工程潔凈室技術(shù)涉及的內(nèi)容范圍是很廣的,可以是潔凈室技術(shù)的研究、開發(fā);潔凈室各系統(tǒng)(壁板系統(tǒng)、吊頂系統(tǒng)、地板系統(tǒng)、空氣凈化及空調(diào)系統(tǒng)),以及其它服務(wù)系統(tǒng)(如潔凈工作服、潔凈室專用抹布等消耗品)的研究、開發(fā)、設(shè)計、應(yīng)用設(shè)計、安裝、運行及管理等的介紹及經(jīng)驗總結(jié);無塵凈化工程潔凈室技術(shù)正日益被相關(guān)行業(yè)越來越多的有識之士所重視和廣泛研究。
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按照產(chǎn)品生產(chǎn)對“潔凈生產(chǎn)環(huán)境”中的污染物的控制要求、控制方法以及控制設(shè)施的日益嚴格而不斷發(fā)展。無塵凈化工程潔凈室技術(shù)廠房的設(shè)計與施工,是一門跨學業(yè)、跨部門、跨學科的綜合性的新興分支學科,它與許多行業(yè)、很多學科有著千絲萬縷的聯(lián)系,又有著自己獨特的特點。在潔凈廠房內(nèi)生產(chǎn)的相關(guān)產(chǎn)品即象征著它的高品質(zhì)與其高科技。
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